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- 发布时间：2025-04-17 06:31:35
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[文章导读] 金融界2025年2月22日动静，国度常识产权局讯息显示，TES股份有限公司申请一项名为
金融界2025年2月22日动静，国度常识产权局讯息显示，TES股份有限公司申请一项名为“基板处罚安装以及基板处罚手法”的专利，公然号CN 119495599 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发现涉及基板处罚安装以及基板处罚手法，更周密地涉及正在遵从基板或者遵从基板工艺计划所述基板的基座的倾斜角度或者倾斜偏向发作转化的状况下也或许将所述基板确凿地计划于所述基座的重心部的基板处罚安装以及基板处罚手法。基板处罚安装具备：腔室，供给对基板的处罚空间；基座，修设于所述腔室内部，并被计划所述基板且加热所述基板；刻板臂，将所述基板计划到所述基座或将所述基板从所述基座取出；倾斜医治单位，医治所述基座的倾斜；以及管造部，管造所述倾斜医治单位的驱动，并对应于所述基座的倾斜而校正通过所述刻板臂正在所述基座计划所述基板的名望。
